近年来，我国半导体产业发展迅猛，战略地位日渐突出。作为其支撑的国产半导体设备业也渐渐浮出水面，受到业内人士的广泛关注。
国内半导体设备实力得到提升
信息产业部电子信息产品管理司基础产品处处长王勃华告诉记者，2004年中国集成电路的市场需求额已占到世界的22.6%，预计“十一五”期间中国集成电路市场的增长速度将保持在20%左右。与此同时，中国集成电路产业也将保持较快的发展速度，这必将形成一个非常具有生气的庞大集成电路设备市场，并进而带动中国半导体设备产业的快速发展。
事实上，近几年我国半导体设备产业取得了一定的成绩。中国电子科技集团公司第48所副所长王俊朝介绍说，内在功力的增强、发展思路的改变以及在市场里摸爬滚打多年所得到的锻炼，使我国半导体设备行业的实力得到前所未有的提升。国产半导体设备业数十年埋头苦干积聚的能量开始逐渐释放，设备的整体技术水平跨上了一个新台阶，尤其是设备的实用性、可靠性、外观水平等大幅提高，产品逐渐
获得市场及用户的认可，使用户在心理上不再一味地排斥国产设备，从而在相对垄断的专用设备行业占有一席之地，这一点实属不易。尽管国产设备在要求最为苛刻的集成电路大生产线上还未取得突破性应用，但它们已经越来越多地用在同样采用半导体工艺的其他领域大生产线上，如近年飞速发展的晶体硅太阳能电池制造领域。在该制造领域，除有限的几种设备因自动化程度低，短期内仍依赖进口外，国产半导体设备如扩散炉、等离子刻蚀机、烘干烧结炉、清洗机和最新开发成功的PECVD(等离子增强化学气相淀积)设备已在我国市场上得到广泛应用。
王俊朝强调说，国家集成电路重大科技攻关项目———用于下一代IC制造生产线的几种最关键的设备如光刻机、离子注入机、刻蚀机和大尺寸单晶炉等，经过承担单位的努力，在关键技术上已取得实质性突破，曙光已经初现。一旦最终研制成功，将大大缩短我国半导体设备目前与国外10年～15年的技术差距。
国内半导体设备业的进步同样影响着国外厂商的策略。例如，与我国七星华创有过良好合作的AvizaTechnology公司亚洲区运营副总裁周雷琪表示，国内半导体设备业发展速度很快，这在一定程度上刺激了国外半导体设备厂商，一旦有了竞争，全球的制造者将会更努力地进行研发以求进步。
以点带面促进发展
尽管我国半导体专用设备业已经取得一定的进步，但在技术水平、稳定性、可靠性、自动化程度方面与国际水平相比仍有一定差距，这使得国产设备只有在中小型国有企业、地方IC厂家和生产数量较少的研究单位可以发挥重要作用。而新一代的晶圆厂仍旧依靠从国外直接进口的成套生产线。如何让国产半导体设备满足国内生产的要求？业内人士给出良策。中国电子科技集团公司第45研究所经营销售处处长李万河对记者说，国产半导体设备厂商要想满足国内半导体产业的要求，首先要从自身做起，提高产品质量，尤其是在稳定性、可靠性方面要狠下功夫，花大力气彻底解决。其次，政府部门应给予国产设备大力支持，如在投资、政策、关税等方面给从事国产半导体设备研制的单位一定的倾斜。对使用国产半导体设备的企业给予一定的补偿，从而鼓励企业使用国产设备。
王俊朝表示，由于在IC制造业与国外存在巨大差距，国产半导体设备与其同国外产品甚至二手设备直接交锋，不如采取迂回策略，在已选择的离子注入机、光刻机等关键设备上重点投资和突破，以求以点带面，全面发展。而发展及应用的重点应先放在同样采用半导体工艺但要求略低的太阳能电池、电力电子器件、LED、M等领域。国产半导体设备业要锻炼人才，考验设备，提升技术能力，并在积累了一定技术、资金、人才及管理经验后，再选择时机切入IC制造设备。
作者：诸玲珍